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机机械制造工艺方法有:翻砂、锻造、压铸、注塑、车、铣、磨、钳、热处理、线切割、电火花、焊接、冲压等。每道工序里还可以细分出许多的工序。
焊接这些年的发展比较明显,尤其在汽车行业等,大量采用机器人焊接,自动焊接,但仍有很大的开发余地。切削加工仍是获得高精度,高表面光洁度无法替代的方式,目前数控机床的普及程度非常高,批量制造效率高,一致性好。
一般来讲,微机械结构常用薄膜材料层来制作,常用的薄膜层材料有:多晶硅、氮化硅、氧化硅、磷硅酸盐玻璃(PSG)、硼硅酸玻璃(BPSG)和金属。
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